Trycksensorer används för att mäta trycket i vätskor och gaser. Vanliga typer inkluderar MEMS piezoresistiva kiseltrycksensorer, MEMS kiselresonanstrycksensorer, keramiska kapacitiva trycksensorer, kapacitiva metalltrycksensorer, sputtrade tunnfilmstrycksensorer och metalltöjningsgivare. Deras driftscenarier varierar beroende på arbetsprincipen.
MEMS kisel piezoresistiv trycksensor:Detta är den mest använda typen av trycksensor. Dess huvudsakliga mätområde täcker 15 kPa till 100 MPa, med en typisk noggrannhet som sträcker sig från 0,05 % FS till 3 % FS. Drifttemperaturintervallet är vanligtvis -55 grader till 180 grader. Eftersom det är kompatibelt med{11}}storskaliga halvledartillverkningsprocesser är det billigt. För vätskemätning krävs oljefylld isoleringsförpackning.
MEMS Silicon Resonant Pressure Sensor: Den här sensorn använder en genialisk design som omvandlar trycket till en förändring i resonansfrekvensen för en mikro-stråle. Eftersom strålens frekvens endast beror på dess struktur och temperatur och drar fördel av filtreringseffekter, uppnår den här sensorn en hög utgångsnoggrannhet på upp till 0,01 % FS. Dess huvudsakliga tryckmätningsområde täcker 100 kPa till 40 MPa, med ett driftstemperaturområde på -55 grader till 85 grader. På grund av komplex tillverkning och höga kostnader är den lämplig för applikationer som kräver extremt hög precision, såsom halvledarbearbetning och havsdjupsmätning.
Keramisk kapacitiv trycksensor:Keramiskt material erbjuder utmärkt slitstyrka, vilket gör denna sensor lämplig för att mäta tryck i sand-slurryblandningar. Den ger också god korrosionsbeständighet, vilket möjliggör mätning av frätande vätskor som svavelsyra. Dessutom kan keramiska trycksensorer motstå vattenfrysning-en funktion som inte går att uppnå med MEMS-sensorer.
Metall kapacitiv trycksensor:Denna sensor använder ett metallmembran som en tryckkänslig rörlig elektrod, som bildar en kondensator med en fast elektrod. När trycket verkar på membranet ändras kapacitansen mellan elektroderna, vilket skapar ett tryck-kapacitansförhållande. Metallmembran kan tillverkas av korrosionsbeständiga material som Inconel och kan mäta mycket låga tryck (0–1/10/100/1000 Torr). Följaktligen har den breda tillämpningar inom vakuummätning och specialgasmätning i halvledarindustrin.
SputtradeThin-filmTrycksensor och metalltöjningsmätare Trycksensor:Båda sensorerna har ett kraftkänsligt-material belagt på en stor metallyta, vilket gör produkten robust och hållbar. De är lämpliga för högtrycksområden och applikationer som kräver hög tillförlitlighet, såsom gulgods, dieselmotorer och tunnelborrmaskiner. Dessa sensorer är inte lätta att tillverka till en absoluttryckssensor och kan vanligtvis täcka maximala intervall upp till 200 MPa eller högre. Den första bilden ovan visar en sputterad tunn-filmsensorkärna, medan den andra bilden visar en metalltöjningsmätare.
Att välja en trycksensor måste baseras på faktiska driftsförhållanden för att fullt ut utnyttja dess prestanda. Mihui Technology specialiserar sig på trycksensorer baserade på olika principer, och erbjuder komplett design, produktion och tillverkningskapacitet för att ge kunderna de mest lämpliga lösningarna. Välkommen att kontakta oss om du är intresserad:Telefonnummer: +8618066965135; E-post: mihuitec@gmail.com
